DEUTSCHENORM August2006 DIN DINENISO14880-4 ICS 31.260 Optik und Photonik - Mikrolinsenarrays - Teil 4: Prufverfahren fur geometrische Eigenschaften (ISO14880-4:2006); DeutscheFassungENIsO14880-4:2006 Optics and photonics - Microlens arrays - Part 4: Test methods for geometrical properties (Is0 14880-4:2006); GermanversionENISO14880-4:2006 Optique et photonique- Réseauxdemicrolentilles- VersionallemandeENiS014880-4:2006 - Stand 2016-11 Gesamtumfang 27 Seiten BEST BeuthStandardsCollection NormenausschussFeinmechanikundOptik(NAFuO)imDiN DIN Deutsches Institut fur Normung e.V. - Jede Art der Vervielfaltigung, auch auszugsweise, 9 Preisgruppe 14 ur mit Genehmigung des DIN Deutsches Institut fur Normung e.V., Berlin, gestattet. www.din.de Alleinverkauf der Normen durch Beuth Verlag GmbH, 10772 Berlin www.beuth.de 9682937 DINENISO14880-4:2006-08 Nationales Vorwort Deutschland) aus der Arbeit des ISO/TC 172/SC 9 ,Elektro-optische Systeme"(Sekretariat: DIN, Deutschland) ubernommen. Das zustandige deutsche Gremium ist der NA 027-01-21 AA .Mikrooptik und integrierte Optik" im Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO). Fur die im Abschnitt 2 zitierten Internationalen Normen wird im Folgenden auf die entsprechende Deutsche Norm hingewiesen: ISO 14880-1 siehe DIN ENISO 14880-1 Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise DINENISO14880-1,MikrolinsenarraysTeil1:Begriffe - Stand 2016-11 BEST BeuthStandardsCollection 2 EUROPAISCHENORM ENISO 14880-4 EUROPEANSTANDARD NORMEEUROPEENNE Juni 2006 ICS 31.260 Deutsche Fassung OptikundPhotonik Mikrolinsenarrays Teil 4: Prufverfahren fur geometrische Eigenschaften (ISO14880-4:2006) Optics and photonics - Optique et photonique - Microlens arrays Reseaux de microlentilles - Part 4: Test methods for geometrical properties Partie 4: Methodes d'essai pour les proprietes (ISO 14880-4:2006) geometriques (ISO 14880-4:2006) Diese Europaische Norm wurde vom CEN am 3. Mai 2006 angenommen. Die CEN-Mitglieder sind gehalten, die CEN/CENELEC-Geschaftsordnung zu erfullen, in der die Bedingungen festgelegt sind, unter denen dieser Europaischen Norm ohne jede Anderung der Status einer nationalen Norm zu geben ist. Auf dem letzten Stand befindliche Listen dieser nationalen Normen mit ihren bibliographischen Angaben sind beim Management-Zentrum oder bei jedem CEN-Mitglied auf Anfrage erhaltlich. die von einem CEN-Mitglied in eigener Verantwortung durch Ubersetzung in seine Landessprache gemacht und dem Management-Zentrum mitgeteilt worden ist, hat den gleichen Status wie die offiziellen Fassungen. CEN-Mitglieder sind die nationalen Normungsinstitute von Belgien, Danemark, Deutschland, Estland, Finnland, Frankreich, Griechenland, Irland, Island, Italien, Lettland, Litauen, Luxemburg, Malta, den Niederlanden, Norwegen, Osterreich, Polen, Portugal, Rumanien, Schweden, der Schweiz, der Slowakei, Slowenien, Spanien, der Tschechischen Republik, Ungarn, dem Vereinigten Konigreich und Zypern. cen - Stand 2016-11 EUROPAISCHES KOMITEE FUR NORMUNG EUROPEAN COMMITTEE FOR STANDARDIZATION COMITE EUROPEENDENORMALISATION BEST BeuthStandardsCollection Management-Zentrum: rue de Stassart, 36 B-1050 Brussel @2006CEN Alle Rechte der Verwertung, gleich in welcher Form und in welchem Ref.Nr.EN ISO 14880-4:2006 D Verfahren, sind weltweit den nationalen Mitgliedern von CEN vorbehalten. ENISO14880-4:2006 (D) Inhalt Seite Vorwort .3 Einleitung. .4 1 Anwendungsbereich. ..5 2 Normative Verweisungen.. 3 Begriffe und Formelzeichen .5 4 Koordinatensystem... 5 Prufverfahren ... 5.1 Messung des Pitch und der Modulationstiefe der Oberflache.... 5.1.1 VerwendungeinesTastschnittmessgerats... 5.1.2 VerwendungeineskonfokalenMikroskops... Physische Dicke.... 5.2 5.2.1 Kurzbeschreibung des Verfahrens.. 5.2.2 Messaufbau und Vorbereitung ... 5.3 Krummungsradius.. 12 5.3.1 Kurzbeschreibung desVerfahrens...... 5.3.2 Messanordnung und Prufgerate .... 5.4 Oberflachenvorbereitung der Mikrolinsenarrays fur die Messung... 16 6 Durchfuhrung..... 16 6.1 Messung